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安裝條件

本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用.

1、水：不需要

2、電：AC220V50Hz,必須有良好接地

3、氣：設備腔室內需充注氣氣（純度99.99%以上），需自備氛氣氣瓶（帶壓減閥）

4.工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm,,承重50ka以上

5、通風裝置：不需要

主要參數

1、輸入功率：110V/220V通用2000W(含真空泵)

2、輸出功率：1600VDC50mA(最大電流)

3、石英置：0160mm×120mm

4、樣品臺：050mm(可選購加熱型樣品臺，最高溫度可到500℃：最長濺射時間不可超過5min)

5、真空泵：120L/M旋片式真空泵

7、靶材：尺寸直徑047mm,厚度0.1mm-3mm;可濺射Au、Ag、Pt、Cr、Ni

產品規格

尺寸：360mm×350mm×3600mm;

重量：50kg

可選配件

1、KF25真空接口、卡箍

2、不銹鋼波紋管(600mm)

3、旋片式真空泵(120L/M)

4、鉑、銀、鋅等各種高純度金屬靶材

5、加熱型樣品臺