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本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V50Hz,必須有良好接地

3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氫氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥）

4、工作臺(tái)：尺寸600mm×600mm×700mm,,承重50kg以上

5、通風(fēng)裝置：不需要

1、電源：220V

2、總功率：<2000W(包括鎮(zhèn)空泵)

3、真空室：0160mm×120mm

4、樣品臺(tái)：O50mm,且高度可調(diào)，可同時(shí)進(jìn)行8個(gè)SEM樣品的鍍膜

5、max均勻鍍膜：045mm

尺寸：400mmx300mm×400mm

重量：30KG

1、金靶材1個(gè)

2、進(jìn)氣針閥1個(gè)

3、保險(xiǎn)絲2個(gè)

金、銦、銀、鉑等各種靶材