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參數：

主機規格：300mm×360mm×380mm（W×D×H）

靶（上部電極）：50mm×0.1mm（D×H）

靶材：Au（標配）也可根據實際情況配備銀靶、鉑靶等。

樣品室：硼硅酸鹽玻璃160mm×120mm（D×H）

樣品臺尺寸：可安裝直徑50mm和直徑70mm的樣品臺，也可根據自身要求定樣品臺

靶材尺寸：Ф50mm

真空指示表：最高真空度：≤ 4X10-2 mbar

產品名稱：低真空小型離子濺射儀

產品類別：機械及行業設備/其他行業專用設備

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