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參數：

主機規格：260mm×307mm×260mm（W×D×H）

電源規格：220V(可做110V),50HZ

靶（上部電極）：50mm×0.1mm（D×H）

靶材：Au（標配），也可根據實際情況配備銀靶、鉑靶等。

真空樣品室：硼硅酸鹽玻璃115mm×100mm（D×H）

定時器：最長時間：3600S

機械泵：1L/S

最高電壓：-1200 DCV

產品名稱：可旋轉離子濺射儀鍍金靶材

產品類別：機械及行業設備/其他行業專用設備

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