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參數：

主機規格：305mm×365mm×325mm（W×D×H）

靶（上部電極）：金：50mm×0.1mm（D×H）

靶材：Au（標配），也可根據實際情況配備銀靶、鉑靶等

樣品室：硼硅酸鹽玻璃160mm×120mm（D×H）

靶材尺寸：Ф50mm

真空指示表：最高真空度：≤ 4X10-2 mbar

離子電流表：最大電流：50mA

定時器：最長時間：3600s

微型真空氣閥：可連接φ3mm軟管

可通入氣體：多種

最高電壓：-1600 DCV

輸入電壓：220V(可做110V),50HZ

機械泵：標準配置2L/S（國產VRD-8）

產品名稱：離子濺射儀玻璃罩

產品類別：機械及行業設備/其他行業專用設備

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