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儀器多機尺寸：長610mmX竟420mmX言220mm(注：含腔體總高490mm)

工作腔室尺寸：：金篇腔體：直徑260mmX高270mm(外尺寸）

直徑210mmX高270mm(內尺寸)

靶材尺寸：室徑50mmX罩3mm(圖契材材質不司星度有所不司）

靶材料：標配一雜直徑50mmX03mm的金起（可渡射弱磁性金屬膜）

靶槍冷卻方式：水冷

真空系統：抗沖擊渦輪分子泵，抽速為300L/s

前級機械泵：抽速為4L,帶防返油電磷閥及油污拉濾器

真空測量：采用復合真空計些測真空

極限真空度：5×10Pa(10分鐘可到5×10Pa)

電源：官流恒流電源：

翰入克壓：220W

輸出電壓：0-600r可話

輸出電流（沉積電流）：0-1.6A可調

教樣臺：旋裝臺（直徑尺寸用戶可選，最大不能超過中150mm)

工作氣體：Ar箋管性氣體（警自備氣瓶及減壓閥）

氣路：誰射喜空度手動道整

沉積速寶：0-200nm

水冷：自循環冷卻水機

電源電壓：220V50Hz

啟動功室：3KW

產品名稱：銀靶材鈀靶材科研用

產品類別：機械及行業設備/其他行業專用設備

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