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A型號

主箱體尺寸(寬*長*高)

箱體功能

箱體厚度

側開門尺寸

法蘭直徑

有無過渡倉

YP-1A

W300*D400*H500

不可抽

真空，

可充惰

性氣體，

真空度

±1000PA

6MM

D260*H260

D300*H350

D300*H300

165MM

無

YP-2A

W700*D450*H550

YP-3A

W800*D550*H600

YP-4A

W900*D500*H500

YP-5A

W900*D600*H700

10MM

D400*H400

200MM

YP-6A

W1000*D750*H700

YP-8A

W1200*D800*H700